เคยจำเป็นต้องออกแบบห้องคลีนรูมสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในไทยเมื่อสิบปีก่อน การเลือก Class 100 พิสูจน์แล้วว่าสำคัญมาก เพราะแม้ฝุ่นเล็กน้อยเดียวก็ทำชิปเสียหายได้ทั้งล็อต

ความหมายของ Class 100

Class 100 ตามมาตรฐาน FED-STD-209E หมายถึงอากาศ 1 ลูกบาศก์ฟุตมีอนุภาคฝุ่นขนาด ≥0.5 µm ไม่เกิน 100 อนุภาค. เทียบกับอากาศปกติที่อาจมีล้านอนุภาค มันสะอาดแสนเท่า. ค่า SI เท่าประมาณ 3,520-3,530 particles/m³

การเทียบกับมาตรฐาน ISO

FED-STD-209E ถูกยกเลิกปี 2001 แทนที่ด้วย ISO 14644-1 โดย Class 100 เทียบเท่า ISO Class 5. ISO Class 5 กำหนดอนุภาค ≥0.5 µm ไม่เกิน 3,520 particles/m³. คำว่า “Class 100” ยังใช้ในอุตสาหกรรมแม้เปลี่ยนมาตรฐาน

สเปกทางเทคนิคที่ต้องใช้

ห้องต้องมี air changes per hour (ACH) 240-480 รอบ เพื่อเปลี่ยนอากาศทุก 7-15 วินาที. ใช้ HEPA/ULPA filter ครอบเพดาน 60-100% กับ airflow แบบ laminar flow จากเพดานลงพื้น. การวัดทำในสภาวะ as-built, at-rest หรือ operational

การใช้งานในอุตสาหกรรม

พบการใช้บ่อยในเซมิคอนดักเตอร์ wafer fabrication, ยาบรรจุฉีด/วัคซีน, biotech cell culture และ medical devices. ในประสบการณ์ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ต้องการ laminar flow เต็มรูปแบบเพื่อป้องกัน contamination

วิธีทดสอบความสะอาด Class 100 ที่ต้องทำบ่อยแค่ไหน

การทดสอบความสะอาด Cleanroom Class 100 (ISO Class 5) ต้องทำตาม ISO 14644-2 เพื่อยืนยันการปฏิบัติตามมาตรฐาน โดยเน้น airborne particle count เป็นหลัก

ความถี่ทดสอบหลัก

ทดสอบ airborne particle concentrations ทุก 6 เดือนสูงสุดสำหรับ ISO Class 5. สำหรับ airflow velocities ใน unidirectional flow (laminar) ทุก 6 เดือน. Air pressure differentials ตรวจสอบต่อเนื่องหรือทุก 12 เดือน

การตรวจสอบประจำวัน

Monitoring อนุภาคระหว่างใช้งานทำ frequent monitoring ทุกไม่เกิน 60 นาที โดยใช้ particle counter ที่จุดสำคัญ เช่น ใกล้ workstation และ air returns. ในอุตสาหกรรมยาหรือเซมิคอนดักเตอร์ อาจ daily หรือ weekly เพื่อจับ event ทันที

การรับรองเต็มรูปแบบ

Initial qualification หลังสร้างเสร็จ แล้ว recertify ทุก 6-12 เดือน ตาม risk assessment. ทดสอบเพิ่มเช่น HEPA filter leakage ทุก 24 เดือน